Esta norma especifica un método de medición sin contacto para la resistividad de obleas semiconductoras semiaislantes. Esta norma es aplicable a la medición de la resistividad de materiales semiconductores de alta resistencia como el arseniuro de galio semiaislante, el fosfuro de indio y el carburo de silicio. El rango de medición de la resistividad es de 10 Ω·cm~10 Ω·cm.
SJ/T 11487-2015 Historia
2015SJ/T 11487-2015 Método de medición sin contacto para la resistividad de una oblea semiconductora semiaislante.