GB/T 31351-2014 Método de prueba no destructivo para determinar la densidad de microtubos de obleas de carburo de silicio monocristalino pulidas (Versión en inglés)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 31351-2014
Alcance
Esta norma especifica el método de prueba no destructivo para la densidad de microtubos de obleas pulidas de carburo de silicio 4H y 6H. Esta norma es aplicable a la medición de la densidad de microtubos con un tamaño radial de microtubos en el rango de una micra a decenas de micras después del pulido de un solo lado o del pulido de doble lado de obleas pulidas de cristal único de carburo de silicio de cristal 4H y cristal 6H.
GB/T 31351-2014 Historia
2014GB/T 31351-2014 Método de prueba no destructivo para determinar la densidad de microtubos de obleas de carburo de silicio monocristalino pulidas