KS D 0261-2012
Inspección visual de obleas de silicio con superficies especulares

Estándar No.

KS D 0261-2012

Fecha de publicación

2012

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Estado

Remplazado por

KS D 0261-2012(2017)

Ultima versión

KS D 0261-2012(2022)

Reemplazar

KS D 0261-2002

Alcance

Esta norma especifica obleas de silicio para dispositivos semiconductores que han sido acabadas como espejo mediante métodos químicos y mecánicos.

KS D 0261-2012 Historia

• 0000 KS D 0261-2012(2022)
• 0000 KS D 0261-2012(2017)
• 2012 KS D 0261-2012 Inspección visual de obleas de silicio con superficies especulares
• 0000 KS D 0261-2002