YS/T 983-2014 Método de prueba para medir la composición del reactor de deposición de polisilicio y el gas de ventilación del convertidor de TCS a STC (Versión en inglés)
Esta norma especifica métodos para la determinación de los componentes de los gases de escape de los hornos de reducción de silicio policristalino y de los hornos de hidrogenación. Esta norma es aplicable a la determinación de los componentes del gas de cola (hidrógeno, cloruro de hidrógeno, triclorosilano, diclorodihidrógeno de silicio y tetracloruro de silicio) de hornos de reducción y hornos de hidrogenación de procesos Siemens modificados. El rango de detección es una fracción de volumen del 0,1% al 100%.
GB/T 8979 Nitrógeno puro y nitrógeno de alta pureza y nitrógeno ultrapuro
YS/T 983-2014 Historia
2014YS/T 983-2014 Método de prueba para medir la composición del reactor de deposición de polisilicio y el gas de ventilación del convertidor de TCS a STC