GB/T 30867-2014
Método de prueba para medir el espesor y la variación total del espesor de obleas de carburo de silicio monocristalino. (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 30867-2014

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2014

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 30867-2014

Alcance

Esta norma especifica los métodos de prueba para el espesor de una oblea única de carburo de silicio y la variación del espesor total (TTV), incluidos los métodos de contacto y sin contacto. Esta norma se aplica a obleas individuales de carburo de silicio con un diámetro no inferior a 30 mm y un espesor de 0,13 mm a 1 mm.

GB/T 30867-2014 Documento de referencia

• GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
• GB/T 25915.1-2010 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire.

GB/T 30867-2014 Historia

• 2014 GB/T 30867-2014 Método de prueba para medir el espesor y la variación total del espesor de obleas de carburo de silicio monocristalino.