Esta norma informa sobre las propiedades físicas y químicas y los peligros del triclorosilano y estipula medidas de emergencia en caso de fuga de triclorosilano, métodos para manejar el lugar de la fuga y métodos de eliminación en el lugar de la fuga. Esta norma se aplica al tratamiento y eliminación de fugas de triclorosilano cuando ocurren durante la producción, almacenamiento, uso, operación, transporte, etc.