JIS C 5630-12:2014
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS.
- Estándar No.
- JIS C 5630-12:2014
- Fecha de publicación
- 2014
- Organización
- Japanese Industrial Standards Committee (JISC)
- Ultima versión
- JIS C 5630-12:2014
JIS C 5630-12:2014 Documento de referencia
- ISO 12107 Materiales metálicos - Ensayos de fatiga - Planificación estadística y análisis de datos
- JIS C 5630-3 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 3: Pieza de prueba estándar de película delgada para pruebas de tracción
JIS C 5630-12:2014 Historia
- 2014 JIS C 5630-12:2014 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS.
