Este estándar utiliza el método de medición del resonador de zafiro para medir el espesor de películas delgadas superconductoras en la banda de frecuencia de microondas.
KS C 6111-5-2008 Historia
0000 KS C 6111-5-2008(2018)
2008KS C 6111-5-2008 Mediciones del espesor de películas superconductoras en frecuencias de microondas.