DS/EN 62047-11:2013
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos

Estándar No.

DS/EN 62047-11:2013

Fecha de publicación

2013

Organización

Danish Standards Foundation

Ultima versión

DS/EN 62047-11:2013

Alcance

IEC 62047-11:2013 especifica el método de prueba para medir los coeficientes de expansión térmica lineal (CLTE) de materiales delgados e independientes de sistemas microelectromecánicos (MEMS) sólidos (metálicos, cerámicos, poliméricos, etc.) con una longitud entre 0 ,1 mm y 1 mm a

DS/EN 62047-11:2013 Historia

• 2013 DS/EN 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos