KS D ISO 18114:2005
Análisis químico de superficie－Espectrometría de masas de iones secundarios－Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones

Estándar No.

KS D ISO 18114:2005

Fecha de publicación

2005

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Estado

Remplazado por

KS D ISO 18114-2005(2020)

Ultima versión

KS D ISO 18114-2005(2020)

Alcance

Esta especificación es un estándar relativo para la espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) en materiales de referencia implantados con iones.

KS D ISO 18114:2005 Historia

• 0000 KS D ISO 18114-2005(2020)
• 2005 KS D ISO 18114:2005 Análisis químico de superficie－Espectrometría de masas de iones secundarios－Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones