KS C 0256-2002
Método de prueba de resistividad para cristales y obleas de silicio con sonda de cuatro puntos

Estándar No.

KS C 0256-2002

Fecha de publicación

2002

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Estado

Remplazado por

KS C 0256-2002(2017)

Ultima versión

KS C 0256-2002(2022)

Reemplazar

KS C 0256-1999

Alcance

Esta norma se aplica a los monocristales de silicio (en lo sucesivo denominados monocristales) y a las obleas de silicio (en lo sucesivo denominadas obleas).

KS C 0256-2002 Historia

• 0000 KS C 0256-2002(2022)
• 0000 KS C 0256-2002(2017)
• 2002 KS C 0256-2002 Método de prueba de resistividad para cristales y obleas de silicio con sonda de cuatro puntos
• 0000 KS C 0256-1999