KS D ISO 14237:2003
Análisis químico de superficies－Espectrometría de masas de iones secundarios－Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente

Estándar No.

KS D ISO 14237:2003

Fecha de publicación

2003

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Estado

Remplazado por

KS D ISO 14237-2003(2018)

Ultima versión

KS D ISO 14237-2003(2023)

Reemplazar

KS D ISO 14237:2002

Alcance

Este estándar especifica que el boro se agrega y calibra de manera uniforme mediante un material estándar certificado en el que se implanta iones de boro.

KS D ISO 14237:2003 Historia

• 0000 KS D ISO 14237-2003(2023)
• 0000 KS D ISO 14237-2003(2018)
• 2003 KS D ISO 14237:2003 Análisis químico de superficies－Espectrometría de masas de iones secundarios－Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
• 0000 KS D ISO 14237:2002