BS EN 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos.
2013BS EN 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos.