DS/EN 62047-13:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 13: Métodos de prueba de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva para estructuras MEMS

Estándar No.

DS/EN 62047-13:2012

Fecha de publicación

2012

Organización

Danish Standards Foundation

Ultima versión

DS/EN 62047-13:2012

Alcance

IEC 62047-13:2012 especifica el método de prueba de adhesivo entre elementos de tamaño micro y un sustrato utilizando la forma columnar de las muestras. Esta norma internacional se puede aplicar a la medición de la fuerza adhesiva de microestructuras, preparadas como

DS/EN 62047-13:2012 Historia

• 2012 DS/EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 13: Métodos de prueba de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva para estructuras MEMS