GB/T 29505-2013 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 29505-2013
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2013
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 29505-2013

Alcance: Esta norma proporciona el principio de medición, el equipo de medición y los procedimientos de los tres métodos comúnmente utilizados en la medición de la rugosidad de la superficie de las obleas de silicio: perfilómetro, interferómetro y dispersómetro, y especifica el patrón de posición de escaneo estándar y la rugosidad del área local o completa de la superficie de la oblea de silicio. Definición de abreviatura. Esta norma se aplica a la medición de la rugosidad de la superficie de la oblea de silicio plana; También se puede utilizar para otros tipos de materiales de oblea planos, pero no es aplicable a la medición de rugosidad del área del borde de la oblea. Esta norma no se aplica a instrumentos de medición con ancho de banda de longitud de onda espacial ≤ 10 nm.

GB/T 29505-2013 Documento de referencia

2013 GB/T 29505-2013 Método de prueba para medir la rugosidad de la superficie en superficies planas de oblea de silicio.