GB/T 29056-2012
Triclorosilano para epitaxia de silicio. Determinación del contenido de boro, aluminio, fósforo, vanadio, cromo, manganeso, hierro, cobalto, níquel, cobre, arsénico, molibdeno y antimonio. Método de espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 29056-2012
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2012
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Ultima versión
- GB/T 29056-2012
- Alcance
- El personal que utilice esta norma debe tener experiencia práctica en trabajos formales de laboratorio. Esta norma no aborda todos los posibles problemas de seguridad. Es responsabilidad del usuario tomar las medidas de seguridad y salud adecuadas y garantizar el cumplimiento de las condiciones estipuladas en las leyes y reglamentos nacionales pertinentes. Esta norma especifica la determinación de boro, aluminio, fósforo, vanadio, cromo, manganeso, hierro, cobalto, Métodos para el contenido de oligoelementos como níquel, cobre, molibdeno, arsénico, antimonio, etc. Esta norma se aplica a la determinación de boro, aluminio, fósforo, vanadio, cromo, manganeso, hierro, cobalto, níquel, cobre, molibdeno, arsénico, antimonio, etc. en triclorosilano (SiHCl3) para epitaxia del silicio. El rango de determinación de cada elemento se muestra en la Tabla 1. Tabla 1 (omitida)
GB/T 29056-2012 Historia
- 2012 GB/T 29056-2012 Triclorosilano para epitaxia de silicio. Determinación del contenido de boro, aluminio, fósforo, vanadio, cromo, manganeso, hierro, cobalto, níquel, cobre, arsénico, molibdeno y antimonio. Método de espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente.
