GB/T 29190-2012 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 29190-2012
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2012
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 29190-2012

Alcance: Este estándar especifica los términos y definiciones de la tasa de deriva de SPM, las abreviaturas, los pasos de medición, las especificaciones de los parámetros de rendimiento y el método de onda fundamental para la medición de la tasa de deriva basado en imágenes de escaneo de SPM. Este estándar es aplicable a la medición de la tasa de deriva de 0,01 nm/s a 10 nm/s. La medición de la deriva en esta norma no es aplicable a la corrección de imágenes.

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