LST EN 62047-12-2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011).

Estándar No.

LST EN 62047-12-2011

Fecha de publicación

2011

Organización

Lithuanian Standards Office

Ultima versión

LST EN 62047-12-2011

LST EN 62047-12-2011 Historia

• 2011 LST EN 62047-12-2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011).