LST EN 62047-9-2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (IEC 62047-9:2011).

Estándar No.
LST EN 62047-9-2011
Fecha de publicación
2011
Organización
Lithuanian Standards Office
Ultima versión
LST EN 62047-9-2011

LST EN 62047-9-2011 Historia

  • 2011 LST EN 62047-9-2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (IEC 62047-9:2011).


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