BS ISO 16413:2013
Evaluación de espesor, densidad y ancho de interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Alineación y posicionamiento de requisitos instrumentales, recopilación de datos, análisis de datos e informes.

Estándar No.

BS ISO 16413:2013

Fecha de publicación

2013

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

 2020-08

Remplazado por

BS ISO 16413:2020

Ultima versión

BS ISO 16413:2020

BS ISO 16413:2013 Historia

• 2020 BS ISO 16413:2020 Evaluación de espesor, densidad y ancho de interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.
• 2013 BS ISO 16413:2013 Evaluación de espesor, densidad y ancho de interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Alineación y posicionamiento de requisitos instrumentales, recopilación de datos, análisis de datos e informes.