NF C96-050-12*NF EN 62047-12:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS.

Estándar No.: NF C96-050-12*NF EN 62047-12:2012
Fecha de publicación: 2012
Organización: Association Francaise de Normalisation
Estado
Ultima versión: NF C96-050-12*NF EN 62047-12:2012
Remplazado por: LST EN 62220-1-1-2015

NF C96-050-12*NF EN 62047-12:2012 Historia

2012 NF C96-050-12*NF EN 62047-12:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS.

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