IEC 62047-4:2008 describe las especificaciones genéricas para sistemas microelectromecánicos (MEMS) fabricados con semiconductores, que son la base de las especificaciones dadas en otras partes de esta serie para diversos tipos de aplicaciones MEMS, como sensores, MEMS RF, excluidos los ópticos. MEMS, bio MEMS, micro TAS y MEMS de potencia. Esta norma especifica procedimientos generales para la evaluación de la calidad que se utilizarán en los sistemas IECQ-CECC y establece principios generales para describir y probar características eléctricas, ópticas, mecánicas y ambientales. IEC 62047-4:2008 ayuda en la preparación de normas que definen dispositivos y sistemas fabricados con tecnología de micromaquinado.