Esta parte de IEC 62047 especifica el método de prueba de compresión de micropilares para medir las propiedades de compresión de materiales MEMS con alta precisión, repetibilidad y esfuerzo moderado de fabricación de muestras. Se mide la relación tensión-deformación de compresión uniaxial de una muestra y se puede obtener el módulo de elasticidad y límite elástico de compresión. La pieza de prueba es un pilar cilíndrico fabricado sobre un sustrato rígido (o muy rígido) mediante tecnologías de micromaquinado, y su relación de aspecto (relación entre el diámetro del pilar y la altura del pilar) debe ser superior a 3. Esta norma es aplicable a materiales metálicos, cerámicos y poliméricos.