GB/T 28632-2012
Análisis químico de superficies. Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. Determinación de la resolución lateral. (Versión en inglés)

Estándar No.
GB/T 28632-2012
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2012
Organización
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 28632-2012
Alcance
Esta norma especifica el método para medir la resolución lateral del espectrómetro de electrones Auger y del espectrómetro de fotoelectrones de rayos X en tres condiciones. El método de regla es adecuado para instrumentos con resoluciones laterales esperadas superiores a 1 µm. El método de rejilla es adecuado para instrumentos cuya resolución lateral se espera que sea superior a 20 nm y inferior a 1 μm. La regla de la Isla Dorada se aplica a instrumentos con resoluciones laterales esperadas inferiores a 50 nm. Los Apéndices A, B y C dan ejemplos de diagramas de bandas para medir la resolución lateral.

GB/T 28632-2012 Documento de referencia

GB/T 28632-2012 Historia

  • 2012 GB/T 28632-2012 Análisis químico de superficies. Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. Determinación de la resolución lateral.



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