BS EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Métodos de prueba de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva para estructuras MEMS
2012BS EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Métodos de prueba de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva para estructuras MEMS