GB/T 28277-2012
Tecnología de fabricación MEMS basada en silicio. Método de medición de la fuerza de corte y presión del área de microunión. (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 28277-2012

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2012

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 28277-2012

Alcance

Esta norma especifica los requisitos y métodos de prueba para probar la fuerza de unión de pequeñas áreas de unión involucradas en el procesamiento de MEMS basados en silicio. Esta norma se aplica a las pruebas de resistencia al corte, a la tracción y a la compresión de pequeñas áreas de unión fabricadas mediante tecnología microelectrónica y tecnologías de microfabricación relacionadas.

GB/T 28277-2012 Documento de referencia

• GB/T 19022-2003 Sistemas de gestión de mediciones-Requisitos para procesos de medición y equipos de medición
• GB/T 26111-2010 Tecnología de sistemas microelectromecánicos.Términos

GB/T 28277-2012 Historia

• 2012 GB/T 28277-2012 Tecnología de fabricación MEMS basada en silicio. Método de medición de la fuerza de corte y presión del área de microunión.