ASTM E1217-11
Práctica estándar para la determinación del área de la muestra que contribuye a la señal detectada en espectrómetros de electrones de barrena y algunos espectrómetros de fotoelectrones de rayos X

Estándar No.

ASTM E1217-11

Fecha de publicación

2011

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1217-11(2019)

Ultima versión

ASTM E1217-11(2019)

Alcance

La espectroscopia de electrones Auger y la espectroscopia de fotoelectrones de rayos X se utilizan ampliamente para el análisis de superficies de materiales. Esta práctica resume los métodos para determinar el área de la muestra que contribuye a la señal detectada (a) para instrumentos en los que se puede escanear un haz de electrones enfocado sobre una región con dimensiones mayores que las dimensiones del área de la muestra vista por el analizador, y (b) empleando una muestra con un borde afilado. Esta práctica pretende ser un medio para determinar el área de la muestra observada para condiciones seleccionadas de operación del analizador de energía de electrones. El área de la muestra observada depende de si los electrones se retardan o no antes del análisis de energía, la energía de paso del analizador o la relación de retardo si los electrones se retardan antes del análisis de energía, el tamaño de las rendijas o aberturas seleccionadas y el valor de la energía del electrón que se va a medir. Medido. El área de la muestra observada depende de estas condiciones de operación seleccionadas y también puede depender de la idoneidad de la alineación de la muestra con respecto al analizador de energía de electrones. Es posible que sea necesario conocer cualquier cambio en el área de la muestra observada en función de las condiciones de medición, por ejemplo, la energía de los electrones o la energía de paso del analizador, si los materiales de la muestra en uso regular tienen heterogeneidades laterales con dimensiones comparables a las dimensiones del área de la muestra observada. por el analizador. Esta práctica puede brindar información útil sobre las propiedades de obtención de imágenes del analizador de energía de electrones para condiciones de operación particulares. Esta información puede resultar útil para comparar el rendimiento del analizador con las especificaciones del fabricante. La información sobre la forma y el tamaño del área vista por el analizador también se puede emplear para predecir la intensidad de la señal en experimentos XPS cuando se gira la muestra y para evaluar el eje de rotación del manipulador de muestras. Se han publicado ejemplos de la aplicación de los métodos descritos en esta práctica (1-7). Hay diferentes formas de definir el área de análisis del espectrómetro. Un informe técnico ISO proporciona orientación sobre las determinaciones de resolución lateral, área de análisis y área de muestra vistas por el analizador en AES y XPS (8), y la norma ISO 18516:2006 describe tres métodos para determinar la resolución lateral en AES y XPS. Baer y Engelhard han utilizado "puntos" bien definidos. de un material sobre un sustrato para determinar el área de una muestra que contribuye a la señal medida de un &‘área pequeña’ Medición XPS (9). Esta área podría ser hasta diez veces mayor que la estimada simplemente a partir de la resolución lateral del instrumento. La cantidad de intensidad en la zona &#‘margen&#’ o &#‘cola&#’ Las regiones también podrían depender en gran medida del funcionamiento de la lente y de la idoneidad de la alineación de la muestra. Scheithauer describió una técnica alternativa en la que se utilizaban aberturas de Pt de diferentes diámetros para determinar la fracción de ‘cola larga’. Contribuciones de rayos X fuera de cada apertura en la señal del fotoelectrón de Pt medida en comparación con la de una lámina de Pt (10). En mediciones de prueba en un instrumento XPS comercial con un haz de rayos X enfocado y una resolución lateral nominal de 10 μm (determinada a partir de la distancia entre las posiciones para el 20 % y el 80 % de la señal máxima cuando se realizaron los escaneos). hecho a través de un borde), se encontró que los diámetros de apertura de aproximadamente 100 μmy 450 μm eran re......

ASTM E1217-11 Documento de referencia

• ASTM E1016 Guía estándar de literatura que describe las propiedades de los espectrómetros de electrones electrostáticos
• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

ASTM E1217-11 Historia

• 2019 ASTM E1217-11(2019) Práctica estándar para la determinación del área de la muestra que contribuye a la señal detectada en espectrómetros de electrones de barrena y algunos espectrómetros de fotoelectrones de rayos X
• 2011 ASTM E1217-11 Práctica estándar para la determinación del área de la muestra que contribuye a la señal detectada en espectrómetros de electrones de barrena y algunos espectrómetros de fotoelectrones de rayos X
• 2005 ASTM E1217-05 Práctica estándar para la determinación del área de la muestra que contribuye a la señal detectada en espectrómetros de electrones de barrena y algunos espectrómetros de fotoelectrones de rayos X
• 2000 ASTM E1217-00 Práctica estándar para la determinación del área de la muestra que contribuye a la señal detectada en espectrómetros de electrones de barrena y algunos espectrómetros de fotoelectrones de rayos X