Esta norma especifica los términos y definiciones, marcas, materiales, requisitos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de tubos de difusión de vidrio de cuarzo para obleas de silicio de células solares (en adelante, tubos de difusión de vidrio de cuarzo). Esta norma se aplica a los tubos de vidrio de cuarzo transparente con un diámetro exterior mayor o igual a 200 mm y una longitud mayor a 2000 mm, utilizados en el proceso de difusión de obleas de silicio de células solares.
JC/T 2066-2011 Documento de referencia
JC/T 181-2011 Dispositivos de vidrio de cuarzo transparente para semiconductores.
JC/T 597-2011 Tubos de vidrio de cuarzo transparente para semiconductores.
JC/T 2066-2011 Historia
2011JC/T 2066-2011 Tubos de difusión de vidrio de cuarzo para silicio para células solares.