BS EN 62047-12:2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS

Estándar No.

BS EN 62047-12:2011

Fecha de publicación

2011

Organización

British Standards Institution (BSI)

Ultima versión

BS EN 62047-12:2011

BS EN 62047-12:2011 Historia

• 2011 BS EN 62047-12:2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS