VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 Determinación de cantidades geométricas mediante el uso de microscopios de sonda de barrido - Calibración de sistemas de medición normas y especificaciones

Alcance: Esta guía se limita a los microscopios de sonda de barrido y su calibración. Un microscopio de sonda de barrido es un dispositivo de medición que funciona en serie y que utiliza una sonda de finura adecuada para rastrear la superficie del objeto a medir aprovechando una interacción física local (como el efecto túnel mecánico-cuántico, fuerzas interatómicas o intermoleculares, modos evanescentes de campo electromagnético), desplazándose la sonda y el objeto a medir entre sí en un plano (en lo sucesivo denominado plano xy) según un patrón definido, mientras que la señal de la interacción se registra y puede ser Se utiliza para controlar la distancia entre la sonda y el objeto a medir. En esta directriz se consideran las señales que se utilizan para la determinación de la topografía (en lo sucesivo denominadas "señal z").

VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 Historia

2008 VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 Determinación de cantidades geométricas mediante el uso de microscopios de sonda de barrido - Calibración de sistemas de medición
2006 VDI/VDE 2656 Blatt 1-2006 Bestimmung geometrischer Messgroessen mit Rastersondermikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen