VDI 2083 Blatt 13.2-2009
Tecnología de salas blancas - Calidad, producción y distribución de agua ultrapura - Microelectrónica y otras aplicaciones técnicas

Estándar No.

VDI 2083 Blatt 13.2-2009

Fecha de publicación

2009

Organización

Association of German Mechanical Engineers

Ultima versión

VDI 2083 Blatt 13.2-2009

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VDI 2083 Blatt 13.2-2008

Alcance

El propósito de esta guía es resumir los conocimientos sobre la planificación, construcción, operación y monitoreo de plantas de tratamiento de agua para la producción y distribución de agua ultrapura. Esta directriz se aplica a los requisitos de calidad, producción y suministro de agua ultrapura para procesos con requisitos de alta pureza, como los utilizados en la tecnología de salas blancas. Se utilizan procesos y sistemas similares en la tecnología de centrales eléctricas y en la tecnología de centrales nucleares, pero no son el tema de esta directriz, ya que se describen en otros lugares. El agua ultrapura se utiliza en diversas aplicaciones, por un lado para procesos de limpieza y, por otro lado, para diluir productos químicos ultrapuros concentrados hasta concentraciones de solución de trabajo o se incorpora al producto a fabricar. Por ejemplo, B. Las superficies contaminadas se limpian con agua ultrapura antes de realizar procesos de trabajo delicados. Al agua ultrapura utilizada para este fin se le imponen altas exigencias en términos de pureza de partículas, química y biológica durante su uso. En el campo de las aplicaciones técnicas, especialmente en la microelectrónica/tecnología de semiconductores, la atención se centra en eliminar la mayor cantidad posible de partículas, contaminantes químicos y biológicos debido a la reducción del tamaño de las estructuras. Los sistemas de agua ultrapura utilizados se estructuran de la siguiente manera: Tratamiento, incluido el pretratamiento Almacenamiento y distribución Uso, incluido el control de calidad Los pasos del proceso necesarios para el tratamiento del agua ultrapura y, por tanto, la estructura del sistema, se determinan a partir del análisis del agua bruta existente, que está influenciado por las condiciones locales del agua ultrapura. análisis de objetivos de agua especificados en la aplicación específica. Condiciones marco técnicas medioambientales, p. B. La necesidad de un uso reducido de productos químicos, así como los costes de agua específicos del lugar y otros costes operativos también influyen en la selección de los distintos pasos del proceso. El almacenamiento y la distribución están determinados por las condiciones de instalación locales y las unidades de uso conectadas. En general, se debe desarrollar una solución económica a partir de una variedad de soluciones posibles.*www.vdi.de/2083

VDI 2083 Blatt 13.2-2009 Documento de referencia

• DIN 10192-1:1984 
• DIN 11850:1999 Tubos para la industria alimentaria, química y farmacéutica - Tubos de acero inoxidable - Dimensiones, materiales
• DIN 11864-1:2006 Accesorios de acero inoxidable para la industria aséptica, química y farmacéutica. Parte 1: Conexión de tubería aséptica roscada, tipo estándar.
• DIN 1301-1:2002 Unidades - Parte 1: Nombres de unidades, símbolos de unidades
• DIN 1314:1977 Presión; Definiciones básicas, unidades
• DIN 19645:2006 Tratamiento de aguas de retrolavado de filtros gastados procedentes de sistemas de tratamiento de agua de piscinas y baños.
• DIN 32676:2001 Racores para la industria alimentaria, química y farmacéutica - Conexiones de abrazadera para tubos de acero inoxidable - Tipo soldado
• DIN 32736:2000 Gestión de edificios: definiciones y alcance de los servicios
• DIN 38404-10:1995 Métodos estándar alemanes para el examen de agua, aguas residuales y lodos - Parámetros físicos y fisicoquímicos (grupo C) - Parte 10: Saturación de calcio del agua (C 10)
• DIN 38404-3:2005 Métodos estándar alemanes para el examen de agua, aguas residuales y lodos - Parámetros físicos y fisicoquímicos (grupo C) - Parte 3: Determinación de la absorción espectral en el rango UV, Coeficiente de absorción espectral (C 3)
• DIN 38409-6:1986 Métodos estándar alemanes para el análisis de agua, aguas residuales y lodos; índices resumidos de acciones y sustancias (grupo H); dureza del agua (H 6)
• DIN 38409-7:2005 Métodos estándar alemanes para el análisis de agua, aguas residuales y lodos - Parámetros que caracterizan los efectos y sustancias (grupo H) - Parte 7: Determinación de la capacidad de neutralización de ácidos y bases (H 7)

VDI 2083 Blatt 13.2-2009 Historia

• 2009 VDI 2083 Blatt 13.2-2009 Tecnología de salas blancas - Calidad, producción y distribución de agua ultrapura - Microelectrónica y otras aplicaciones técnicas
• 2008 VDI 2083 Blatt 13.2-2008 Tecnología de salas blancas - Producción y distribución Quality@ de agua ultrapura - Microelectrónica y otras aplicaciones técnicas