EN 62047-12:2011
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS

Estándar No.

EN 62047-12:2011

Fecha de publicación

2011

Organización

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Ultima versión

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EN 62047-12:2011 Historia

• 2011 EN 62047-12:2011 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS