BS EN 62047-10:2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Prueba de compresión de micropilares para materiales MEMS

Estándar No.

BS EN 62047-10:2011

Fecha de publicación

2011

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

Ultima versión

BS EN 62047-10:2011

Remplazado por

NF A89-568:2017

BS EN 62047-10:2011 Historia

• 2011 BS EN 62047-10:2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Prueba de compresión de micropilares para materiales MEMS