BS EN 62047-9:2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS

Estándar No.

BS EN 62047-9:2011

Fecha de publicación

2013

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

 2013-01

Remplazado por

BS EN 62047-9:2013

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