BS ISO 14706:2001
Análisis químico de superficies. Determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopia de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)

Estándar No.

BS ISO 14706:2001

Fecha de publicación

2001

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

 2014-07

Remplazado por

BS ISO 14706:2014

Ultima versión

BS ISO 14706:2014

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99/122512 DC:1999

BS ISO 14706:2001 Historia

• 2014 BS ISO 14706:2014 Análisis químico de superficies. Determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopia de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)
• 2001 BS ISO 14706:2000 Análisis químico de superficies: determinación de la contaminación elemental de la superficie en obleas de silicio mediante espectroscopía de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF)