BS EN 62047-8:2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba de flexión de tiras para medir la propiedad de tracción de películas delgadas normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica el método de prueba de flexión de tiras para medir las propiedades de tracción de películas delgadas con alta precisión, repetibilidad, esfuerzo moderado de alineación y manipulación en comparación con la prueba de tracción convencional. Este método de prueba es válido para piezas de prueba con un espesor entre 50 nm y varios mm, y con una relación de aspecto (relación entre longitud y espesor) de más de 300. La tira colgante (o puente) entre dos soportes fijos se adopta ampliamente en MEMS o micromáquinas. Es mucho más fácil fabricar estas tiras que las probetas de tracción convencionales. Los procedimientos de prueba son tan simples que se pueden automatizar fácilmente. Este estándar internacional se puede utilizar como prueba de control de calidad para la producción de MEMS, ya que su rendimiento de prueba es muy alto en comparación con la prueba de tracción convencional.

BS EN 62047-8:2011 Historia

2011 BS EN 62047-8:2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Método de prueba de flexión de tiras para medir la propiedad de tracción de películas delgadas