ASTM F2405-04(2011)
Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en cobre de alta pureza mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución

Estándar No.

ASTM F2405-04(2011)

Fecha de publicación

2004

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F2405-04(2011)

Alcance

Este método de prueba está destinado a su aplicación en la industria de semiconductores para evaluar la pureza de materiales (por ejemplo, objetivos de pulverización catódica, fuentes de evaporación) utilizados en procesos de metalización de película delgada. Este método de prueba puede ser útil en aplicaciones adicionales, no previstas por el comité técnico responsable, según lo acordado entre las partes interesadas. Este método de prueba está diseñado para que lo utilicen analistas de GDMS en varios laboratorios para unificar el protocolo y los parámetros para determinar trazas de impurezas en el cobre. El objetivo es mejorar la concordancia de los datos de análisis entre laboratorios. Este método de prueba también está dirigido a los usuarios de análisis GDMS como ayuda para comprender el método de determinación y la importancia y confiabilidad de los datos GDMS informados. Para la mayoría de las especies metálicas, el límite de detección para análisis de rutina es del orden de 0,01 en peso. ppm. Con precauciones especiales, son posibles límites de detección a niveles inferiores a ppb. Este método de prueba puede usarse como método de referencia para productores y usuarios de materiales de cobre de grado electrónico. 1.1 Este método de prueba cubre las concentraciones de trazas de impurezas metálicas en alta pureza (99,95% en peso puro, o más puro, con respecto a trazas metálicas). impurezas) cobre de grado electrónico. 1.2 Este método de prueba pertenece al análisis mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de sector magnético (GDMS). 1.3 Este método de prueba no incluye toda la información necesaria para completar los análisis GDMS. Para lograr la sensibilidad requerida se requiere equipo de laboratorio sofisticado controlado por computadora, utilizado hábilmente por un operador experimentado. Este método de prueba cubre los factores particulares (por ejemplo, preparación de muestras, establecimiento de factores de sensibilidad relativa, determinación de límites de detección y similares) conocidos por el comité técnico responsable para afectar la confiabilidad de los análisis de cobre de alta pureza. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F2405-04(2011) Documento de referencia

• ASTM E135 Terminología estándar relacionada con la química analítica de metales, minerales y materiales relacionados
• ASTM E173 
• ASTM E180 Práctica estándar para determinar la precisión de los métodos ASTM para análisis y pruebas de productos químicos industriales y especializados
• ASTM E691 Práctica estándar para realizar un estudio entre laboratorios para determinar la precisión de un método de prueba
• ASTM E876 Práctica estándar para el uso de estadísticas en la evaluación de datos espectrométricos (retirada en 2003)
• ASTM F1593 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aluminio de calidad electrónica mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución

ASTM F2405-04(2011) Historia

• 2004 ASTM F2405-04(2011) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en cobre de alta pureza mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
• 2004 ASTM F2405-04 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en cobre de alta pureza mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución