GB/T 26067-2010 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 26067-2010
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2011
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 26067-2010

Alcance: 1. Esta norma proporciona cualitativamente un método de prueba no destructivo para determinar si la muesca de referencia de una oblea de silicio cumple con los requisitos límite estándar. El principio de prueba de este método también es aplicable a la medición de otros tamaños de muesca. 2. Cuando el tamaño plano del objeto en esta norma es de 0,1 mm, se formará una imagen de 2,0 mm en la pantalla de proyección después de un aumento de 20 veces, y se producirá una proyección de 5,0 mm después de un aumento de 50 veces. Este método puede encontrar los detalles de tamaño más pequeño en el contorno de la incisión. 3. Esta norma no proporciona una prueba para el radio de curvatura en la parte superior del recorte.

GB/T 26067-2010 Documento de referencia

GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
GB/T 2828.1 Procedimiento de inspección por muestreo de conteo, parte 1: Plan de muestreo de inspección lote por lote recuperado por el límite de calidad de aceptación (AQL)*， 2013-02-15 Actualizar

2011 GB/T 26067-2010 Método de prueba estándar para dimensiones de muescas en obleas de silicio