GOST R 8.594-2009
Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Microscopios electrónicos de barrido

Estándar No.

GOST R 8.594-2009

Fecha de publicación

2009

Organización

RU-GOST R

Ultima versión

GOST R 8.594-2009

GOST R 8.594-2009 Documento de referencia

• GOST 12.2.061-1981 
• GOST 8.591-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medida de relieve en rango nanométrico con perfil trapezoidal de elementos. Método de verificación
• GOST 8.592-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Medidas de relieve de rango nanométrico de silicio monocristalino. Formas geométricas, tamaño lineal y requisitos de materiales de fabricación.
• GOST ISO 14644-1-2002 Salas blancas y ambientes controlados asociados. Parte 1. Clasificación de la limpieza del aire.

GOST R 8.594-2009 Historia

• 2009 GOST R 8.594-2009 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. Microscopios electrónicos de barrido
• 2002 GOST R 8.594-2002 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las mediciones. La garantía metrológica del control de las radiaciones. Principios generales