ASTM E983-10
Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger

Estándar No.

ASTM E983-10

Fecha de publicación

2010

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E983-10(2018)

Ultima versión

ASTM E983-19

Alcance

Cuando se utiliza la excitación por haz de electrones en AES, el haz de electrones incidente puede interactuar con el material de la muestra provocando cambios físicos y químicos. En general, estos efectos son un obstáculo para el análisis AES porque provocan modificaciones localizadas de la muestra (1-4). Con muestras que tienen mala conductividad eléctrica, el haz de electrones puede estimular el desarrollo de carga localizada en la superficie de la muestra. Este efecto es un obstáculo para el análisis AES porque los potenciales asociados con la carga pueden afectar negativamente la integridad de los datos Auger o dificultar la recopilación de datos Auger (5, 6).1.1 Esta guía describe los orígenes y manifestaciones de los efectos no deseados del haz de electrones en Espectroscopía de electrones Auger (AES). 1.2 Se proporcionan algunas directrices generales sobre los parámetros del haz de electrones que tienen más probabilidades de producir estos efectos y se ofrecen sugerencias sobre cómo minimizarlos. 1.3 Se identifican las clases generales de materiales que tienen más probabilidades de exhibir efectos de haz de electrones no deseados. Además, se proporciona una tabulación de algunos materiales específicos que se ha observado que sufren efectos de daño electrónico. 1.4 Se describe un método simple para establecer la existencia y el alcance de estos efectos durante el análisis AES de rutina. 1.5 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E983-10 Documento de referencia

• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
• ASTM E996 Práctica estándar para informar datos en espectroscopia de electrones de Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X

ASTM E983-10 Historia

• 2019 ASTM E983-19 Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger
• 2018 ASTM E983-10(2018) Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger
• 2010 ASTM E983-10 Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger
• 2005 ASTM E983-05 Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger
• 1994 ASTM E983-94(1999) Guía estándar para minimizar los efectos no deseados del haz de electrones en la espectroscopía de electrones Auger