AS ISO 17560:2006
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para perfilar en profundidad el boro en silicio

Estándar No.

AS ISO 17560:2006

Organización

Standard Association of Australia （SAA）

Ultima versión

AS ISO 17560:2006

Alcance

Adopta la norma ISO 17560:2002 para especificar un método de espectrometría de masas de iones secundarios que utiliza espectrómetros de masas de sector magnético o cuadrupolo para el perfilado de profundidad de boro en silicio y el uso de perfilometría de lápiz óptico o interferometría óptica para la calibración de escala de profundidad.

AS ISO 17560:2006 Historia

• 1970 AS ISO 17560:2006 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para perfilar en profundidad el boro en silicio