Esta norma cubre la determinación de la longitud de la porción plana del borde de la oblea. Esta norma se aplica a los materiales eléctricos cuya longitud nominal de la parte recta del borde de la oblea circular sea menor o igual a 65 mm. Este estándar solo confirma la precisión de las obleas de silicio y la precisión esperada no cambia debido a los materiales. Esta norma se aplica a las mediciones de referencia y también se puede utilizar para mediciones de aceptación de rutina cuando los límites especificados requieren una mayor precisión que la que se puede obtener mediante una regla y una inspección visual. Esta norma no aborda cuestiones de seguridad, incluso si está relacionada con el uso de la norma. Es responsabilidad del usuario del estándar establecer medidas de seguridad y protección apropiadas y determinar el ámbito de aplicación de las regulaciones.
GB/T 13387-2009 Documento de referencia
GB/T 14264-2009 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
GB/T 2828.1-2003 Procedimientos de muestreo para inspección por atributos. Parte 1: Esquemas de muestreo indexados por límite de calidad de aceptación (AQL) para inspección lote por lote.
GB/T 13387-2009 Historia
2009GB/T 13387-2009 Método de prueba para medir obleas de silicio y otros materiales electrónicos de longitud plana.
1992GB/T 13387-1992 Método de prueba para medir la longitud plana en rodajas de materiales electrónicos.