GB/T 24579-2009
Métodos de prueba para medir la contaminación metálica de la superficie de silicio policristalino mediante espectroscopia de absorción atómica de extracción ácida (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 24579-2009

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2009

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 24579-2009

Alcance

1.1 Esta norma especifica el método de análisis para lixiviar impurezas metálicas de la superficie del bloque de silicio policristalino con ácido y detectar cuantitativamente trazas de impurezas metálicas en la superficie del bloque de silicio policristalino mediante absorción atómica en horno de grafito. 1.2 Esta norma se aplica a la detección de metales alcalinos, metales alcalinotérreos y la primera serie de elementos de transición como sodio, aluminio, hierro, cromo, níquel y zinc. 1.3 Esta norma es aplicable a la detección de contaminantes metálicos en la superficie de diversas varillas, bloques, granos y silicio policristalino o monocristalino en forma de lámina. Debido a la forma irregular de los bloques, escamas o gránulos, es difícil medir con precisión el área y el resultado se calcula según el peso de la muestra. El peso de la muestra utilizado fue de 50 ga 300 gy el límite de detección fue de 0,01 ng/g. 1.4 La resistencia, composición, temperatura y tiempo de lixiviación del ácido determinan la profundidad de la corrosión de la superficie y la eficiencia de lixiviación de los contaminantes de la superficie. En este método de prueba se elimina menos del 1% del peso de la muestra. 1.5 Este método de prueba propone un tamaño de muestra, una composición de ácido, un ciclo de corrosión, un entorno de prueba y un esquema de instrumentos específicos. Estos parámetros se pueden ajustar, pero pueden afectar la eficiencia de recuperación y retención de metales. Este método es adecuado para la determinación de muestras con un peso de 25 ga 5 000 g. A efectos de arbitraje, este método de prueba estipula que el peso de la muestra es de 300 g. El método de prueba se especifica en términos de interferencia y sesgo en los resultados. 1.6 Este método de prueba especifica el uso de espectrometría de absorción atómica en horno de grafito para el análisis del contenido de trazas de metales extraídos con ácido. También se pueden utilizar otros instrumentos de sensibilidad comparable, como espectrómetros de masas/plasma acoplados inductivamente. 1.7 El límite de detección y el sesgo del método dependen de la eficiencia del proceso de extracción de ácido, el tamaño de la muestra, las interferencias del método, los espectros de absorción de cada elemento y la sensibilidad del instrumento, los valores de fondo y en blanco. 1.8 Este método consiste en utilizar ácido caliente para grabar la superficie de silicio, el grabador es dañino, la operación debe realizarse en una campana extractora y todo el proceso debe ser muy cuidadoso. Las soluciones de ácido fluorhídrico son muy peligrosas y no deben ser utilizadas por personas que no estén familiarizadas con las precauciones especiales.

GB/T 24579-2009 Documento de referencia

• GB/T 11446.1-1997 Agua de grado electrónico
• ISO 14644-1 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire por concentración de partículas*， 2015-12-01 Actualizar

GB/T 24579-2009 Historia

• 2009 GB/T 24579-2009 Métodos de prueba para medir la contaminación metálica de la superficie de silicio policristalino mediante espectroscopia de absorción atómica de extracción ácida