GB/T 24577-2009 (Versión en inglés)

Estándar No.: GB/T 24577-2009
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2009
Organización: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión: GB/T 24577-2009

Alcance: 1.1 Esta norma especifica los métodos cualitativos y cuantitativos de contaminantes orgánicos en la superficie de obleas de silicio, utilizando GC-MS o detectores selectivos de fósforo o ambos. 1.2 Esta norma describe el cromatógrafo de gases con desorción térmica (TD-GC) y los procedimientos relacionados para la preparación y análisis de muestras. 1.3 El rango del límite de detección de esta norma depende del compuesto orgánico que se va a detectar, por ejemplo, el rango de detección de hidrocarburos (C~C) es 10 g/cm~10 g/cm. 1.4 Esta norma se aplica a las obleas de silicio pulidas y a las obleas de silicio con capas de óxido. 1.5 Esta norma cubre dos métodos. El método A es adecuado para obleas de silicio cortadas y el método B es adecuado para obleas de silicio intactas. Las diferencias entre los dos métodos se describen en detalle en la Sección 7.

GB/T 24577-2009 Documento de referencia

ASTM D6196 Práctica estándar para la selección de sorbentes y procedimientos de análisis de desorción térmica/muestreo por bombeo para compuestos orgánicos volátiles en el aire

2009 GB/T 24577-2009 Métodos de prueba para analizar contaminantes orgánicos en superficies de agua de silicio mediante cromatografía de gases por desorción térmica.