GB/T 24575-2009
Método de prueba para medir sodio, aluminio, potasio y hierro en superficies sobre sustratos de silicio y epi mediante espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 24575-2009

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2009

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 24575-2009

Alcance

1.1 Esta norma especifica el método de detección por espectrometría de masas de iones secundarios para Na, Al, K y Fe en la superficie de silicio y obleas epitaxiales. Esta norma se aplica a la detección de Na, Al, K y Fe en la superficie de obleas de silicio monocristalino pulidas como espejo y obleas epitaxiales mediante espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS). Esta norma prueba la cantidad total de cada metal, por lo que el método es independiente de las propiedades químicas y eléctricas de los metales individuales. 1.2 Esta norma se aplica a las obleas de silicio de todos los tipos y concentraciones de dopaje. 1.3 Esta norma es especialmente aplicable a la prueba de contaminación de metales superficiales dentro de una profundidad de aproximadamente 5 nm en la superficie de la oblea. 1.4 Esta norma es aplicable a las pruebas de Na, Al, K y Fe cuya densidad superficial varía de (10 a 10 átomos/cm). El límite de detección de este método depende del valor en blanco o del límite de la tasa de conteo, que varía según los diferentes instrumentos. 1.5 Esta norma El método de prueba es un complemento de los siguientes métodos de prueba: 1.5.1 Espectrómetro de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF), que puede detectar metales con alto número atómico Z en la superficie, como Fe, pero no nivel suficientemente bajo para el límite de detección de Na, Al y K (). 1.5.2 Lleve a cabo la descomposición en fase de vapor (VPD) del metal en la superficie, luego use un espectrómetro de absorción atómica (AAS) o un espectrómetro de masas de plasma acoplado inductivamente (ICP-MS) para probar el producto después de la descomposición, el límite de detección del metal. es (10-10 ) átomos/cm. Sin embargo, este método no puede proporcionar información sobre la distribución espacial, y la descomposición en fase gaseosa y la preconcentración de los metales están relacionadas con las características químicas de cada metal.

GB/T 24575-2009 Documento de referencia

• ASTM E122 Práctica estándar para calcular el tamaño de la muestra para estimar, con un error tolerable especificado, el promedio de la característica de un lote o proceso
• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

GB/T 24575-2009 Historia

• 2009 GB/T 24575-2009 Método de prueba para medir sodio, aluminio, potasio y hierro en superficies sobre sustratos de silicio y epi mediante espectrometría de masas de iones secundarios