GB/T 6624-2009
Método estándar para medir la calidad superficial de láminas de silicio pulidas mediante inspección visual (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 6624-2009

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2009

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 6624-2009

Reemplazar

GB/T 6624-1995

Alcance

Esta norma especifica el método para inspeccionar visualmente la calidad de la superficie de obleas pulidas de monocristal bajo ciertas condiciones de iluminación. Esta norma se aplica a la inspección de la calidad de la superficie de obleas pulidas de silicio. La inspección visual de la calidad de la superficie de la oblea epitaxial también puede referirse a este método.

GB/T 6624-2009 Documento de referencia

• GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones

GB/T 6624-2009 Historia

• 2009 GB/T 6624-2009 Método estándar para medir la calidad superficial de láminas de silicio pulidas mediante inspección visual
• 1995 GB/T 6624-1995 Método estándar para medir la calidad superficial de láminas de silicio pulidas mediante inspección visual