GB/T 6621-2009
Métodos de prueba para determinar la planitud de la superficie de rodajas de silicio. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 6621-2009
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2009
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Ultima versión
- GB/T 6621-2009
- Reemplazar
- GB/T 6621-1995
- Alcance
- Esta norma especifica el método para medir la planitud de obleas pulidas de silicio con sensores de desplazamiento capacitivos. Cortar obleas, moler obleas y obleas corroídas también puede referirse a este método. Este estándar es adecuado para medir la planitud de la superficie de obleas pulidas de silicio con diámetros estándar de 76 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm, resistividad no superior a 200 Ω·cm y espesor no superior a 1000 μm y para describir visualmente el contorno de la superficie de la oblea de silicio. .
GB/T 6621-2009 Historia
- 2009 GB/T 6621-2009 Métodos de prueba para determinar la planitud de la superficie de rodajas de silicio.
- 1995 GB/T 6621-1995
