AS ISO 14606:2006
Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia

Estándar No.

AS ISO 14606:2006

Organización

Standard Association of Australia （SAA）

Ultima versión

AS ISO 14606:2006

Alcance

Adopta la norma ISO 14606:2000 para brindar orientación sobre la optimización de los parámetros de perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando materiales de referencia adecuados de una o varias capas para lograr una resolución de profundidad óptima en función de la configuración del instrumento.

AS ISO 14606:2006 Historia

• 1970 AS ISO 14606:2006 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia