AS ISO 14237:2006
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
- Estándar No.
- AS ISO 14237:2006
- Organización
- Standard Association of Australia （SAA）
- Ultima versión
- AS ISO 14237:2006
- Alcance
- Adopta la norma ISO 14237:2000 para especificar un método espectrométrico de masas de iones secundarios para la determinación de la concentración atómica de boro en silicio monocristalino, utilizando materiales dopados uniformemente calibrados mediante un material de referencia certificado implantado con boro.
AS ISO 14237:2006 Historia
- 1970 AS ISO 14237:2006 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
