GOST R 8.640-2008
Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las medidas. Radiómetros de medidas de radiación ultravioleta para pruebas de procesos tecnológicos de fotolitografía. Métodos de verificación

Estándar No.

GOST R 8.640-2008

Fecha de publicación

2008

Organización

RU-GOST R

Ultima versión

GOST R 8.640-2008

GOST R 8.640-2008 Historia

• 2008 GOST R 8.640-2008 Sistema estatal para garantizar la uniformidad de las medidas. Radiómetros de medidas de radiación ultravioleta para pruebas de procesos tecnológicos de fotolitografía. Métodos de verificación